四氟化碳(CF4)又称四氟甲烷，是一种无色无味、化学性质极稳定的气体，它主要应用于半导体工业作为等离子刻蚀气体，用于硅片微加工，也用作制冷剂、绝缘气体和泄漏检测剂，CF4是一种强温室气体，其全球变暖潜能值约为二氧化碳的6500倍，在大气中寿命长达5万年，对气候变化影响显著，其排放主要来源于铝生产和半导体制造过程，因此控制和减少CF4排放对环境保护具有重要意义。
四氟化碳,化学式CF4，又称四氟甲烷，是一种重要的全氟化合物，作为最简单的全氟烷烃，CF4在常温常压下为无色无味的气体，因其独特的物理化学性质，在工业领域具有不可替代的地位。
基本性质
CF4分子呈正四面体结构,碳原子位于中心，四个氟原子位于顶点，这种对称结构使其具有极高的化学稳定性，是已知最稳定的有机化合物之一，其熔点为-183.6°C，沸点为-127.8°C，标准状况下气体密度约为空气的3倍，CF4微溶于水，但可溶于某些有机溶剂。
化学特性
CF4的化学惰性极为突出,在常温下，它几乎不与任何酸、碱、氧化剂或还原剂反应，甚至不与熔融的碱金属作用，只有在极端条件下（如高温电弧放电），CF4才会分解并产生氟自由基，这种高度稳定性使其成为理想的惰性保护气体。
主要用途
- 半导体工业：CF4是等离子刻蚀工艺的关键原料，用于硅、氮化硅等材料的精细刻蚀
- 电子器件：用作高纯绝缘气体和冷却介质
- 制冷领域：作为混合制冷剂的组分之一
- 标准物质：配制标准气体用于分析仪器校准
- 泄漏检测：利用其稳定性进行真空系统检漏
安全与环境影响
CF4本身无毒,但高浓度时可能造成窒息，其最主要的环境问题是极强的温室效应——全球变暖潜能值(GWP)约为二氧化碳的6500倍，大气寿命长达5万年，值得注意的是，CF4不破坏臭氧层，但《京都议定书》已将其列为限制排放的温室气体。
CF4凭借其卓越的化学稳定性和独特的物理性质,在现代工业特别是高科技领域发挥着重要作用，其显著的温室效应也提醒我们必须严格控制排放，在利用其价值的同时注重环境保护，实现可持续发展。